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TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)

描述:TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)
?通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。
?用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。
的清潔干燥空氣,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

更新時間:2023-08-24
產(chǎn)品型號:TEM-100系列
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問次數(shù):4882
詳情介紹
品牌其他品牌供貨周期一個月以上
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子/電池,航空航天,電氣,綜合

TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)

GasPro™  TEM-100高流量ePTFE串聯(lián)濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)

GasPro™  TEM-100系列濾波器設(shè)計用于3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm,且溫度高達(dá)80?C(176F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼外殼,具有的流動性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。

TEM-100系列應(yīng)用

•通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。

•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

TEM-100系列規(guī)格

•過濾等級我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。

•高工作溫度*80°C(176°F)。

建議更換:在69ºC(156ºF)以上運行6個月。

•大工作壓力20°C(68°F)時為17.2 bar(250 psig)。

•大正向流量壓差20ºC(68ºF):6.0bar(87 psi)80ºC(176ºF):4.0bar(58 psi)

TEM-100系列功能和優(yōu)點

•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。

•包裝外清潔度我們的GasPro™ 清潔TEM-100過濾器,并包裝在無塵室內(nèi),不含有機物包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮氣進(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。

•多種配件選項,便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。

•氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測試。

零件號入口/出口配件過濾介質(zhì)/外殼其他材料長度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼

TEM過濾器TEM-128-24規(guī)格參數(shù)

聚丙烯

氟橡膠®密封*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0”)

 

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